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當(dāng)前位置:首頁 >產(chǎn)品中心>掃描電子顯微鏡>蔡司場發(fā)射電鏡>Sigma 300 /500系列蔡司 掃描電子顯微鏡

蔡司 掃描電子顯微鏡

簡要描述:蔡司Sigma 300/500系列是擁有高品質(zhì)成像和分析功能的場發(fā)射掃描電鏡。它收益于久經(jīng)考
驗的Gemini電子光學(xué)技術(shù)。Sigma300/500可以配備多種探 測器,可以滿足不同的應(yīng)用需求:顆粒物,表面構(gòu)型及納米結(jié)構(gòu)等樣品的成像。利用Sigma 300/500直觀的4 步工作流程,可以使得日常所需的成 像和分析的效率得到提高。

  • 產(chǎn)品型號:Sigma 300 /500系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-04-09
  • 訪  問  量:2548

詳細(xì)介紹

蔡司 Sigma 300 系列掃描電子顯微鏡

擁有高品質(zhì)成像和分析功能的場發(fā)射掃描電鏡

image.png

InLens 探測器

InLens SE: 鏡筒內(nèi)高分辨二次電子探測器

image.png

HDBSD探測器

高清晰度背散射電子探測器,在所有真空模式下, 可對各類樣品進(jìn)行出色的低電壓組份成像


智能并加速工作流程

Sigma 3004 步工作流程可控制Sigma 的所有功能??煽焖佾@取圖像,同時,節(jié)約在培訓(xùn)上的時間。.

導(dǎo)航您的樣品,并為其設(shè)置的成像條件。

在樣品上定義感興趣區(qū)域,可自動實現(xiàn)在多個樣品上采集圖像。

獲得可關(guān)聯(lián)的可視化結(jié)果。

*進(jìn)的分析系統(tǒng)

n 在樣品上定義感興趣區(qū)域,可自動實現(xiàn)在多個樣品上采集圖像。

n 獲得可關(guān)聯(lián)的可視化結(jié)果。

n 掃描電鏡與要素分析相結(jié)合:

Sigma 300頂尖的EDS 幾何設(shè)計能夠增強分析能力,尤其是對電子束敏感的樣品。

n 可實現(xiàn)在之前一半的束流下得到分析數(shù)據(jù),同時測試速度比之前快一倍。

n 8.5mm 的工作距離和35 度的出射角,可得到?jīng)]有陰影區(qū)域的分析結(jié)果靈活的探測手段獲取高分辨率的圖像。

靈活的探測手段獲取高分辨率的圖像

n 使用最新探測器技術(shù)描繪您的所有樣本。

n 使用新型的ETSE 二次電子探測器及用于高真空狀態(tài)下的InLense 二次電子探測器可以獲得高分辨率的形貌信息。

n VPSE C2D探測器在各種壓力模式下都可以獲取清晰的圖像。

n 使用環(huán)形STEM 探測器可以獲取高分辨率的傳送圖像。

n 使用四通道BSD探測器和釔鋁石榴石晶體探測器研究成分。

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)參數(shù)

蔡司Sigma 300

蔡司Sigma 500

電子槍

肖特基場發(fā)射

肖特基場發(fā)射

15kV 對應(yīng)分辨率

1.0 nm

0.8 nm

1kV 對應(yīng)分辨率

1.6 nm

1.4 nm

背散射電子探測器類型

HD BSD

HD BSD

最大掃描速度

50 ns/pixel

50 ns/pixel

加速電壓

0.02 30 kV

0.02 30 kV

放大倍率

10× – 1,000,000 ×

10× – 1,000,000 ×

探針束流

3pA -20nA  (20nA )    

6pA -100nA  (100nA)

3pA -20nA  (20nA )

6pA -100nA  (100nA)

圖像存儲分辨率

32  k × 24  k pixels

接口

12

能譜接口

2  ( 1 EDS 專用及誒口)         3  (2 EDS 專用及誒口)

高真空模式

Yes

Yes

樣品倉尺寸

365 mm (?) x 275 mm (h)

2 133 Pa

358 mm (?) x 270.5 mm (h)

樣品臺種類

全電動5軸樣品臺

可選配全電動5軸樣品臺            

全電動5軸優(yōu)中心樣品臺

X 方向移動范圍

125mm

130mm

125mm

Y 方向移動范圍

125mm

130mm

125mm

Z 方向移動范圍

50mm

50mm

50mm

傾斜范圍

-10 to +90 degrees

-3 to +70 degrees                  

-10 to +90 degrees

旋轉(zhuǎn)范圍

360° Continuous

360° Continuous                      360° Continuous

最大樣品載重

Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY platform only

Up to 0.5 kg

Up to 0.5 kg all axes, up to 2kg without tilt, up to 5 kg on XY    platform only

最大樣品尺寸

250 mm (?) x 145 mm (h), With the ZTR module removed; At the analytical working distance




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